在利用熏蒸法防治房屋内的白蚁前，需将室内所有吸收化学物质的物品和与熏蒸剂发生化学反应的物品移出。用尼龙帐篷罩住整个建筑，再将熏蒸剂泵入帐篷内，使熏蒸气体在帐篷内停留1~2天，最后移掉帐篷，排放掉气体。该方法的关键在于掌握好熏蒸剂的剂量。

　　熏蒸法灭治白蚁的优点是杀白蚁效果好。缺点是操作烦琐，处理时间长，防治成本高，有人居住或出人的环境下不能使用，处理时对熏蒸剂敏感的物品也需搬出建筑物。此外，还存在引起污染甚至中毒的风险，操作不当会危及人和动物的安全。同时，与成虫、幼虫相比，熏蒸剂对卵的作用效果差很多，熏蒸时必须根据不同虫态对熏蒸剂敏感的剂量来调整用药量。熏蒸木结构时，木结构的物理状态改变也会降低气体的渗透性，包括木结构过湿（如硫酰氟微溶于水）、不块厚和人为封堵虫孔。

　　需要注意的是熏蒸剂对人和动物均有害，如硫酰氟对人和动物具有很高的毒性，故熏蒸剂必须在密闭、无人的条件下使用，若在居民区使用则具有极大的安全风险。根据国家有关规定，操作使用熏蒸剂的人员必须经过专门的技术培训，具备相应的资质证书后才能上岗。由于硫酰氟是无色无味的，它释放到空气中会对人造成毒害。因此，在熏蒸过程中，工作人员应戴好防毒面具，施工场所及附近需张贴警示标志，并派人24小时值守，以防人畜误闯入。排除熏蒸剂时需严格按照熏蒸剂使用技术规程进行。此外，中等剂量的硫酰氪对绿色植物、蔬菜、水果和球茎都有伤害，不能将其用于有活植物的场所。